SPE-6000 시리즈
단일 공급 RIE 장치 표준 모델
SPE-8000 시리즈
배치 유형 RIE 장치 표준 모델
SPE-2136A
2 개의 φ6 인치 웨이퍼의 동시 처리에 의한 높은 처리량
SST-M01T
이온 빔을 사용하여 기판의 평평하고 평활화
