카지노 꽁 머니 트리밍 장치
SST-M01T
이온 빔을 사용하여 기판의 평평하고 평활화
φ4 인치 또는 φ6 인치 카지노 꽁 머니에 수렴 된 이온 빔을 조사하여 기판 (표면에 형성된 카지노 꽁 머니 및 필름)은 평평하고 평활화 될 수 있습니다.
응용 프로그램/예제
5G 고주파 필터, 광학 통신을위한 광학 장치 등을위한 장치 및 BAW 장치를 보았습니다.
기능
- 1. 로드 락 타입은 트리밍 챔버를 진공 상태로 유지하여 매우 안정적이고 재현 가능
- 2. 카지노 꽁 머니는 진공 상태에서 더블 핸드로 대체되므로 운송 대기로 인한 시간 손실이 최소화됩니다
- 3. 사용한 카지노 꽁 머니 정렬 메커니즘은 트리밍 전후 카지노 꽁 머니에서 균열 및 칩을 감지 할 수 있습니다
- 4. 다른 목적을위한 이온 소스 그리드 라인업 (높은 속도, 높은 정밀도 등)
- 5. ION 소스 픽업 유지 보수 서비스를 통한 안정적인 장비 작동 제공
사양
| 배기 펌프 | 버퍼 룸 : DRP/트리밍 실 : TMP |
|---|---|
| 설치 치수 | W1,120mm x d3,870mm x H2,300mm |
| weight | 2,700kg |
| 전력 용량 | AC200 ~ 220V (3φ) /50/60Hz/17.8KVA (51.5A) |