인라인 카지노 게임 장치
SPH-5000 시리즈
대형 보드의 대량 생산을위한 스펙터 링 장치
이 장치는 금속 필름, 보호 필름, 투명 전도성 필름 등을 큰 기판에 퇴적시키는 인라인 카지노 게임 장치입니다.
응용 프로그램 및 응용 프로그램
박막 태양 전지판에서 다양한 금속 필름 및 산화물 필름의 제형, 큰 기판
기능
- 1. 5 개의 방 : 수유실, 난방실, 카지노 게임 실, 냉각실 및 추출 실
- 2. 최대 1,000mm x 1,400mm까지 유리 기판을 운반 할 수 있습니다
- 3. 간격이없는 운송을 통한 효율적인 필름 형성
- 4. 냉각 챔버는 냉각 자켓을 사용하여 보드 냉각을 허용합니다
- 5. 펄스 장치가 장착 된 카지노 게임 된 전원에서 안정적인 방전
- 6. 압력 제어는 동일한 챔버에서 산화물 및 금속 필름을 형성하기 위해 차등 압력 파티션 벽을 사용하여 채택됩니다.
- 7. adt time : 90sec/sheet (Ag : 120nm, azo : 60nm 필름 형성)
- 8. 특별 대상 교체 트롤리 포함
- 9. 로터리 캐소드 (선택 사항)
사양
| 배기 펌프 | RP+MBP+TMP |
|---|---|
| 설치 치수 | W20,000mm x d8,000mm x H2,000mm |
| weight | 27,000kg |
| 전력 용량 | AC200V (3φ)/280KVA (800A) |