LoadLock 유형 패스 스루퍼링 카지노 게임 종류
SPH-2410-II
양쪽에 두 가지 유형의 필름이 퇴적 될 수 있습니다
스퍼터링 장비
이 카지노 게임 종류는 석영 공진기의베이스 전극을 증착하기 위해 개발 된로드 락 타입의 패스 스루퍼 링 카지노 게임 종류입니다.
준비/출구 챔버와 스퍼터링 챔버의 두 개의 챔버가 있으며 가열에서 필름 형성 및 제거에 이르기까지 완전히 자동 일 수 있습니다.
"기본 전극 필름 형성 프로세스"는 정렬되어 생산성과 노동 절약에 기여할 수 있습니다.
응용 프로그램 및 응용 프로그램
다양한 전자 구성 요소에서 전극 금속 필름의 제형
기능
- 1. SPH-2500T-II에 비해 약 1 개의 처리량
- 2. 양쪽의 동시 필름 형성이 높은 처리량 작동을 허용
- 3. 랙 및 피니언 방법을 사용하여 안정적인 전송이 달성됩니다.
사양
| 배기 펌프 | rp+cryo |
|---|---|
| 설치 치수 | W1,100mm x d3,965mm x H1,280mm |
| 웨이트 | 2,000kg |
| 전력 용량 | AC200 ~ 220V (3φ)/35kva (99a) |
| 대상 크기 | W126mm (5 인치) x H253mm (10 인치) x t6mm |