배치 카지노 게임 장치
SPE-8000 시리즈
배치 타입 카지노 게임 장치 표준 모델
이것은 처리 용량이 큰 배치 유형 카지노 게임 (반응성 이온 에칭) 장치입니다.
φ4 인치 웨이퍼에 대해 24 개의 웨이퍼의 동시 처리가 가능하며 동시에 11 φ6 인치 웨이퍼를 수행 할 수 있습니다.
항공 운송 챔버는 카세트와 호환되며 이중 암 로봇을 사용하여 효율적인 전송을 가능하게합니다.
응용 프로그램 및 응용 프로그램
다양한 웨이퍼 전자 부품에 대한 카지노 게임 처리
기능
- 1. 카지노 게임로서 질량-볼크 처리 될 수 있습니다
- 2. 이중 암 로봇 운송에 의한 카세트에서 효율적인 웨이퍼 교체
- 3. 에칭 분포 : ± 5%이내, 사이클 시간 : 20 분/배치
사양
| 배기 펌프 | DRP + MBP + TMP |
|---|---|
| 설치 치수 | W2,800mm x D2,400mm x H2,025mm |
| weight | 2,400kg |
| 전력 용량 | AC200V (3φ)/25kva (73a) |