카지노 게임 룰렛 공급 RIE 장치
SPE-6000 시리즈
카지노 게임 룰렛 물로 된 RIE 장치 표준 모델
이것은 3 개의 RIE 룸이 장착 된 카지노 게임 룰렛 파리 (반응성 이온 에칭) 장치입니다. 카세트 챔버가 포함되어 카세트를 변경하여 연속 작동 할 수 있습니다. φ4 인치 및 φ6 인치 웨이퍼와 호환됩니다.
응용 프로그램 및 응용 프로그램
다양한 웨이퍼 전자 부품에 대한 RIE 처리
기능
- 1. 카세트 대 카세트 클러스터 유형
- 2. 에칭 분포 : ± 1.5% (φ4 인치), ± 2.5% (φ6 인치)
사양
| 배기 펌프 | DRP + MBP + TMP |
|---|---|
| 설치 치수 | W4,000mm x d3,000mm x H2,200mm |
| weight | 4,500kg |
| 전력 용량 | AC200V (3φ)/49KVA (143A) |