플라즈마 클리너
SPE-2136A
2 개의 φ6 인치 웨이퍼의 동시 처리
높은 처리량
이 카지노 게임 종류는 φ4 ~ φ6 인치 웨이퍼에 대한 죽음의 캠, 표면 수정 및 애싱 처리를 수행 할 수 있습니다. 또한 자동 운송 메커니즘이 제공되어 웨이퍼 크래킹을 방지하고 웨이퍼 전송과 관련된 작업 시간 비용을 줄입니다. 또한, 공정 챔버는 2 개의 웨이퍼의 동시 처리를 통해 높은 처리량을 달성합니다.
카지노 게임 종류 자체는 컴팩트하며 크기는 W1,400mm x d2,000mm입니다.
응용 프로그램 및 응용 프로그램
Deathcam, 표면 변형, 애싱 처리
톱날 도금 전 톱형 웨이퍼 웨이퍼, 사후 처리 도금 전 표면 수정, 유기 오염 제거, 수지 재료의 표면 수정 및 톱날과 같은 초경량 웨이퍼와 호환
기능
- 1. C ~ C
- 2. 높은 처리량
- 3. 분포 : 웨이퍼에서 ± 10% 이하 (SI 기판)
- 4. 두 시트의 동시 처리, 저온 처리
- 5. AR 플라즈마 청소 (선택 사항)
- 6. 이오 나이저를 사용한 정전기 대책 (선택 사항)
사양
| 배기 펌프 | DRP × 1 |
|---|---|
| 설치 치수 | 본체 : W1,340mm x d1,945mm x H1,870mm |
| weight | 1,100kg |
| 전원 공급 카지노 게임 종류 용량 | AC200 ~ 220V (3φ) /50/60Hz/14.3KVA |