LoadLock Carousel-Type Sputtering Device
SPC-2507-II
한 번에 한쪽에 예금 될 수 있습니다
무료 카지노 게임 장비
기판 역전 메커니즘을 사용하여 양면 필름 증착 메커니즘을 사용하는 작은 회전식 유형의 무료 카지노 게임 장치.
간헐적 인 필름으로서 저온 필름 형성이 가능합니다. 저온 필름 형성은 130 ° C 미만의 온도에서 가능하므로 CR 확산을 방지하는 데 효과적입니다.
응용 프로그램 및 응용 프로그램
다양한 전자 구성 요소에서 전극 금속 필름의 제형
기능
- 1. 외부 치수 : W1,280mm x d1,150mm x H2,250mm
- 2. 패스 스루 SPH-2500T-II로 해결할 수없는 열 문제는 무료 카지노 게임 중에 온도 상승을 억제하여 달성
- 3. 보드 회전/반전 메커니즘은 비접촉 전력 전송 방법 (MAGTRAN®)
*Magtran® ISFec Co., Ltd.| 등록 상표. - 4. 전력 변조 함수 (회전 방향으로 필름 두께 분포 조정) (선택 사항)
- 5. 캐소드 (세 번째 소스) (선택 사항)
장비 구성
| Cathode | 5 인치 x 7 인치 세트 2 |
|---|---|
| 보드 트레이 | for의기 4 : 트레이 W120mm x l200mm |
| 효과적인 필름 형성 범위 | forφ4 : 트레이 w100mm |
| 축 수 | for φ4 : 12 축 |
| 웨이퍼 수 | for φ4 : 12 시트 |
사양
| 배기 펌프 | rp+cryo |
|---|---|
| 설치 치수 | W1,280mm x d1,150mm x H2,250mm |
| weight | 1,500kg |
| 전력 용량 | AC200 ~ 220V/17KVA (50A) |