증기 카지노 게임 종류 장비진공 카지노 게임 종류 장비

진공 증발 장치
SEC-22C

전극 필름 및 산화물 필름은 φ4 인치 및 φ6 인치 웨이퍼로 형성 될 수 있습니다. 카지노 게임 종류 각도는 웨이퍼에 수직으로 구성되므로 리프트 오프 프로세스에도 사용할 수 있습니다.

다양한 전자 성분을위한 전극 필름 형성, 리프트 오프 공정을위한 전극 형성, 보호 필름 응용을위한 산화물 필름 형성 등

1. 고속 배기 4.0 × 10^-4PA까지 20 분
2. 필름 두께 분포 ± 1.0% 이하 (φ4 인치 웨이퍼 표면 내에서)
3. 리프트 오프 응용에 적합한 증기 카지노 게임 종류 재료의 전압 사고; t/s1,100 mm 일 때, 입사 각도 5도 (φ6 인치)
4. 고밀도 돔을 사용하여 기판 돔 내에서 입사 각도를 더 안정적으로 만듭니다
5. 저온 카지노 게임 종류 공정을 통해 패턴에 저항 할 손상이 감소한 필름 생성
6. 4 개의 보정판이 장착되어 4 개의 재료의 필름 두께 분포를 조정할 수 있습니다
7. 고속 Al 카지노 게임 종류을 달성합니다 (이전 모델보다 3 배 더 많음)
8. 레시피 설정 관리 및 로그 획득 가능
9. 안티 그립 플레이트는 최소한의 교체 작업으로 유지할 수있는 구조를 채택합니다
10. 이온 소스 (선택 사항)가 장착되어 있으며 필름 형성 전에 청소 처리를 수행 할 수 있습니다. 천연 산화물 필름 제거, 유기물 제거 및 표면 변형에 효과적입니다.
11. 필름 형성 동안의 퇴적 지원 이온 소스 설치 (선택 사항)
접착력 개선, 응력 제어, 막 품질 관리 등의 효과

선택 사항

보드 청소 메커니즘이 장착되어있어 [ION 소스, 폭격], 보드 냉각 메커니즘, 행성 지그, T/S = 900mm