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이온 출처의 행동 원리 및 개념
진공 박막 형성 장치에 설치된 주 이온 소스는 정전기 가속도를 사용하여 그리드 유형 및 그리드리스 타입으로 대략적으로 나뉩니다.
이온 소스는 세 영역에서 나온 것입니다. ① 이온화, 이온의 가속도 및 이온의 중화
구성. 박막을 형성하기위한 적용에 따라 진공 장치에 설치할 ION 소스를 선택하십시오.
그리드 유형 이온 소스
그리드 이온 소스
그리드리스 이온 소스
그리드리스 이온 소스
그리드 유형 이온 소스
그리드 유형 이온 소스에 대한 이온 생성 방법은 DC 방전 유형, 고주파 유도 배출 유형 및 마이크로파 방전 유형의 세 가지 유형으로 대략적으로 나눌 수 있습니다.
생성 된 이온은 2 ~ 3 개로 구성된 다공성 전극에 고전압을 적용하여 가속됩니다.
showa 진공은DC 배출 유형 (Kaufmann 유형) 및 고주파 유도 방전 유형의 ION 소스 라인업이 있습니다.
출처 : Watanabe Hiroki, Takegahara Haruki (도쿄 메트로폴리탄 대학교)
IGF 시리즈 [그리드 유형 이온 소스 (DC 배출 유형)]
IGF 시리즈는 미세한 가공을 수행하는 ION BEAM ETCHING 장비에 설치됩니다.
마이크로 머는 생성 된 플라즈마에서 그려진 이온을 가속화하고 처리 된 재료와 충돌하여 수행됩니다.
웨이퍼 표면의 불균일성을 평면화하고 제거하고 결정 발진기 및 톱 필터의 주파수를 조정하는 데 사용됩니다.
ISG 시리즈 [그리드 유형 이온 소스 (고주파 유도 배출 유형)]
ISG 시리즈는 ION 보조 증착 (IAD) 장치에 설치됩니다.
물체의 이온 빔을 증발시킴으로써 밀도가 높은 (고밀도) 박막이 형성 될 수 있습니다.
장치가 점점 작아지면서 박막의 밀도를 조정하는 데 사용됩니다.
광학 필터의 비 이동 필름에서 수지 기판에 대한 접착력 개선에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 사용됩니다.
![ION 지원 증착 예 [CR]](img/img08.webp)
![ION 지원 증착 예 [NI]](img/img09.webp)
그리드리스 이온 소스
showa 진공에 의해 카지노 게임 사이트 된 그리드리스 이온 소스는 엔드 홀 유형과 그리드 유형 사이의 특성을 가지고 있습니다
Hall-Accelerated Ion 소스.
이것은 그리드 유형 이온 소스와 마찬가지로 정전기 가속 방법을 사용하는 ION 소스입니다.
홀 가속 유형은 캐소드 소스에서 방출되는 자기 및 전기장을 교차하도록 설계되었습니다.
전자 장치는 이온을 생성하기 위해 도입 된 가스를 갇히고 이온화합니다. 이온은 양극의 전위에 의해 가속되고 이온 빔으로 방출된다. 방출 된 이온 빔은 캐소드 공급원으로부터 방출 된 전자에 의해 중화된다.
그리드 유형의 주요 차이점은 이온을 생성하고 동시에 가속한다는 것입니다.
이것은 진공 박막 형성 장비에서 오랫동안 사용되었습니다.
ISH 시리즈 [그리드리스 이온 소스 (홀 가속 유형)]
ISH 시리즈는 ISG 시리즈 (그리드 유형 이온 소스)와 마찬가지로 이온 보조 증발 장치에 설치됩니다.
단순하고 컴팩트하지만 고출력 이온 조사가 가능하여 대형 장비에 설치 될 때에도 충분한 전류 밀도 및 분포를 제공합니다
실현 될 것입니다.
그리드리스 설계는 운영 비용을 줄이고 유지 보수 시간을 줄입니다.
![ION 지원 증착 예 [TIO2]](img/img13.webp)
기술 교환 회의 기술 교환 회의
우리는 고객에게 최신 연구 카지노 게임 사이트 노력을 소개하고 고객 의견 및 요청을 받기위한 기술 교환 회의를 개최합니다.
역사
2018
이벤트 날짜 : 2018 년 11 월 15 일
장소 : 호텔 그랜드 팰리스
2019
이벤트 날짜 : 2019 년 11 월 12 일
장소 : 호텔 그랜드 팰리스
2020 년에서 2022 년 사이에 취소 (Coronavirus 감염 반응)
2023
이벤트 날짜 : 2023 년 11 월 8 일
장소 : 요코하마 그랜드 인터 컨티넨탈 호텔
2024
이벤트 날짜 : 2024 년 10 월 31 일
장소 : 요코하마 그랜드 인터 컨티넨탈 호텔
전략적 기본 기술 고급 지원 프로젝트 (지원 프로젝트)
평가 목록
지원 산업 프로그램 목록
Strategic Basic Technology Advanced Support Project (Supportic Basic Technology Advanced Support Project)는 일본 제조업의 국제 경쟁력을 강화하고 대학 및 공공 테스트를 지원함으로써 중소 기업 및 소규모 사업을 지원함으로써 일본 제조 및 산업을 강화하고 새로운 산업 창출을 목표로 경제 및 무역 및 산업부가 수행하는 프로젝트입니다. 기본 기술 (12 분야).
Showa 진공이 구현 된 몇 가지 연구 및 카지노 게임 사이트 주제가 채택되었습니다.
공공 기관 지원 프로젝트에 선정 된 기타
카지노 게임 사이트 이니셔티브 목록
기타 카지노 게임 사이트 공공 기관 지원 프로그램 목록
- ・ 백인 LED 조명 방출 장치 (경제 무역 및 산업부 : 중소 기업 및 중소 기업을위한 프로토 타입의 제안 카지노 게임 사이트)를 조정하기위한 프로토 타입 진공 필름 증착 장비 카지노 게임 사이트
- ・ 진공 스퍼터링 장비를위한 고효율 캐소드 카지노 게임 사이트 (Sagamihara City : Sagamihara 도시 연구 및 카지노 게임 사이트 보조금 프로젝트 프로젝트)
- ∎ 톱 필터 콤파 유형 전극 필름 (경제 무역 및 산업 : 제조, 상업 및 서비스 혁신 보조금 프로젝트)을 형성하기위한 진공 증착 장치 카지노 게임 사이트
검증 실험